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AI 摘要
上海新阳年产30500吨集成电路关键工艺材料项目开工,总投资10.5亿元
投了10.5亿!上海新阳干了件大事!
导读
上海新阳全资子公司上海芯刻微在上海化学工业区开工年产30500吨集成电路关键工艺材料项目,总投资由原计划5.8亿元上调至10.5亿元,计划2028年底投产。项目规划了I线/KrF/ArF光刻胶500吨/年、光刻胶稀释剂5000吨/年、氮化钛刻蚀液5000吨/年、干法蚀刻清洗液15000吨/年及新增芯片铜互联电镀液5000吨/年,产能重心向电镀液与蚀刻清洗液倾斜。
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