西安电子科技大学180万元公开招标电子束蒸发镀膜沉积系统

西安电子科技大学就电子束蒸发镀膜沉积系统公开招标，预算金额180万元，投标截止时间为2026年11月03日09点30分。所采购设备需支持在半导体硅片及玻璃、陶瓷基片上真空镀膜，配备镀膜厚度实时监控系统，衬底尺寸8英寸向下兼容，镀膜膜厚非均匀性≤5%，合同签订后30个日历日内交付。