等离子体球化技术如何成为难熔金属粉体制备的核心工艺

等离子体球化技术通过10⁴℃以上超高温场，将钨、钼等难熔金属粉体在毫秒级内熔融重构为球形。该工艺球化率普遍达98%以上，部分高纯钨、钼粉氧含量可控制在150ppm以内，满足6N级以上半导体溅射靶材与3D打印需求。国内已实现中低功率设备自主量产，但大功率射频电源等核心部件仍依赖进口。