IVWorks升级AI驱动生产系统，推进GaN外延自主工艺

IVWorks strengthens GaN epi with AI-driven production system upgrade

导读

韩国IVWorks正基于自研DOMM平台升级GaN外延生产系统，从遵循固定流程的自动化向AI判断状态并决定后续动作的自主工艺转型。DOMM已应用于全部量产产线，AI模型分析RHEED及设备数据以判断生长状态与异常，MRA负责从晶圆装载、生长到卸载的工艺执行。

来源：Semiconductor Today · semiconductor-today.com

中文标题、摘要由 AI 生成，以原文为准 · 使用规则