立川半导体设备研发生产基地项目开工，总投资10.5亿元

立川半导体设备研发生产基地项目于10月10日上午在张家港高新区（塘桥镇）开工，总投资10.5亿元，拟建设高标准生产车间、研发中心及配套设施。一期建成投产后预计年产8英寸及12英寸全自动探针台500台、晶圆研磨设备100台套、质量检测设备20台套，全部达产后预计年产值超7亿元。