屹唐股份北京工厂第1000台集成电路制造设备发车

屹唐股份北京工厂第1000台集成电路制造设备在北京经济技术开发区正式出厂发车。今年上半年公司研发投入3.75亿元，同比增长2.35%，占营业收入17.61%，累计申请专利781项。其干法去胶、快速热处理设备在全球市场保持稳定份额，新一代先进干法刻蚀设备进入海外市场，等离子体表面处理设备已获多家全球重点客户量产验证与重复订单，公司还在规划新的研发生产基地布局。