御微半导体首台先进制程掩模基板缺陷检测设备Halo-300交付国内头部客户

10月8日，御微半导体自研的掩模基板缺陷检测设备Halo-300正式发运国内头部掩模基板客户。该设备可覆盖石英基板制造、空白掩模基板制造及光罩厂来料检测等环节，集成自动化开盒、倒板、翻面模块并搭配自研智能缺陷分类系统，实现全流程封闭式智能管控。