Idvac 开发铝蒸发舟真空处理工艺

Idvac Ltd. 开发出一种干法真空处理工艺，用于改善卷对卷真空镀膜机中铝蒸发用金属间化合物蒸发舟的初始润湿性。该工艺在蒸发舟装入镀膜机前于受控真空环境中处理，无需化学涂层或表面涂料，可使熔融铝更易在舟面铺展，有望提升蒸发稳定性与镀层一致性，并减少启动时对更高电流的需求。公司计划开发紧凑型台式真空处理设备，供操作人员在装载前就地处理蒸发舟。