高纯合成石英的制备工艺与半导体、光伏应用分析

人工合成高纯石英通过溶胶-凝胶法、CVD法、水热法及四氯化硅液相水解法实现纯度与粒径定制化调控，正加速替代天然石英。国内5N及以上半导体级超高纯石英产能紧缺，新增产能集中于石英股份、菲利华、长飞石英等企业。合成石英凭借无气泡、无包裹体等优势，已用于刻蚀环、石英穹顶等半导体器件及光伏直拉单晶环节。