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AI 摘要
芯片良率的“守门人”,也离不开这块多孔陶瓷!
导读
多孔陶瓷作为半导体先进制程检测设备的关键功能材料,可用于真空吸盘、精密气体过滤与颗粒捕集、热管理组件。采用优化孔径结构的多孔陶瓷吸盘后,吸附均匀性可提升30%以上,晶圆面内高度差控制在3μm以内;孔径控制在5μm以下、孔隙率35%~45%时,对0.3μm以上颗粒捕集效率达99.7%以上。SEMI预测全球半导体测试设备销售额将从2025年的117亿美元增长至2028年的208亿美元。
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