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IFWS&SSLCHINA 2026报告前瞻|Nitride Crystals Yuri Makarov:TaC在SiC块体晶体PVT过程中的作用分析

IFWS&SSLCHINA 2026报告前瞻|Nitride Crystals Yuri Makarov:TaC在SiC块体晶体PVT过程中的作用分析

导读

Nitride Crystals Inc.总裁Yuri Makarov将在11月16-19日于苏州召开的IFWS&SSLCHINA 2026上发表《TaC在SiC块体晶体PVT过程中的作用分析》主题报告,从量产运行视角拆解TaC对缺陷控制、热场稳定性、坩埚寿命的影响。

来源:第三代半导体产业网 · casmita.com

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