碳化硅高纯粉体哪条工艺路线能实现量产突围？

碳热还原法是目前国产高纯SiC粉体兼顾纯度与产能的最优解，也是国内企业量产的主力路线。艾奇逊法纯度不足，CVD气相法成本高且难大规模量产，燃烧合成法和等离子体法能耗低但量产稳定性不够。11月25-26日苏州将举办全国高纯碳化硅粉体制备技术及应用交流大会，探讨各工艺量产难点与低成本规模化方案。