ETEL 推出 METIS HP 高精度气浮平台，面向半导体扫描应用

HEIDENHAIN 旗下 ETEL 推出全气浮平面平台 METIS HP，面向直写光刻与高分辨率光学检测等步进扫描半导体应用。该平台采用多自由度 HEIDENHAIN 编码器，无需热漂移补偿即可实现投射工具点测量，控制器可模拟 TTL 位置信号作为触发事件，替代传统干涉仪触发方案，无需在滑架上加装反射镜，也避免空气透镜效应，成本更低。