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AI 摘要
名古屋大学王嘉将在IFWS&SSLCHINA 2026分享超薄镁处理技术,改善氮化镓欧姆接触与表面钝化
IFWS&SSLCHINA 2026报告前瞻|名古屋大学王嘉:用于氮化镓欧姆接触与表面钝化的超薄镁处理技术
导读
名古屋大学助理教授王嘉将于11月16-19日在苏州召开的IFWS&SSLCHINA 2026上报告超薄镁处理技术,该工艺可同时改善GaN接触特性与近表面电子性能。这一无外延再生、低热预算的方法通过受控相互作用改变接触特性、缺陷介导传输和表面/界面电子特性,避免显著结构重建,为下一代GaN电子和光电子器件的p-GaN接触与表面质量提升提供多功能平台。
来源:第三代半导体产业网 · casmita.com
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