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AI 摘要
IFWS&SSLCHINA 2026报告前瞻|韩国国立公州大学Jung-Hoon Song:面向SiC功率半导体的超快共聚焦拉曼计量技术:同质外延均匀性亚微米成像与亚微米热分析
导读
韩国国立公州大学教授、AccuOptoTec首席执行官Jung-Hoon Song将在11月16-19日于苏州召开的IFWS&SSLCHINA 2026上发表超快共聚焦拉曼计量技术报告。该平台采用共光路傅里叶变换拉曼引擎与深度学习光谱复原,每像素0.1毫秒内信号强度比色散光谱仪高100倍,可对SiC同质外延进行6英寸晶圆全表面映射,并以0.5µm分辨率实现免校准斯托克斯/反斯托克斯热成像。
来源:第三代半导体产业网 · casmita.com
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