江苏海思8英寸全自动SMIF天车上料光刻机发运Micro LED量产线

2026年10月13日，江苏海思半导体一台8英寸全自动掩模对准光刻机完成出厂调试与客户验收并发运，将用于硅基Micro LED晶圆的图形化制程。该设备正面对准精度优于±0.5μm，可选配优于±2μm的背面对准模块，采用双SMIF自动天车上下料与两台独立双机械手臂传输，支持批量化无人值守运行。