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《碳化硅抛光片碳包裹体测试方法》团体标准立项
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综述AI 摘要
2026年10月19日，经CASAS管理委员会投票通过，由山东大学新一代半导体材料研究院牵头提出的《碳化硅抛光片碳包裹体测试方法》团体标准立项建议获批，标准编号为T/CASAS 085—202X。联合单位包括广州南砂晶圆半导体技术有限公司、山东中晶芯源半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、理学电企仪器（北京）有限公司。目前进展为：秘书处将向CASAS正式成员征集起草单位并组建标准起草小组。
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最新进展10月20日 14:43
该团体标准立项获批后，秘书处将征集起草单位并组建起草小组。报道时间线AI 摘要
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10月20日
- 第三代半导体产业网《碳化硅抛光片碳包裹体测试方法》团体标准立项，山东大学新一代半导体材料研究院牵头
10月19日，经CASAS管理委员会投票通过，由山东大学新一代半导体材料研究院牵头提出的《碳化硅抛光片碳包裹体测试方法》团体标准立项建议获批，标准编号为T/CASAS 085—202X。联合单位包括广州南砂晶圆半导体技术有限公司、山东中晶芯源半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、理学电企仪器（北京）有限公司。秘书处将向CASAS正式成员征集起草单位并组建标准起草小组。
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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。