《碳化硅抛光片碳包裹体测试方法》团体标准立项，山东大学新一代半导体材料研究院牵头

10月19日，经CASAS管理委员会投票通过，由山东大学新一代半导体材料研究院牵头提出的《碳化硅抛光片碳包裹体测试方法》团体标准立项建议获批，标准编号为T/CASAS 085—202X。联合单位包括广州南砂晶圆半导体技术有限公司、山东中晶芯源半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、理学电企仪器（北京）有限公司。秘书处将向CASAS正式成员征集起草单位并组建标准起草小组。