天准VMU影像仪用于光通信微电极检测

2026年10月21日，天准科技发布新闻资讯称，天准VMU高端影像仪结合Vispec测量软件的自动合并测量点功能，可对同一视野内密集微细特征自动归并批量测量，将含上千个测量点工件的整体测量时间由小时级缩短至分钟级。报道介绍，设备推荐选用VMU高端系列影像仪，配自动变倍镜头与彩色工业摄像机，放大倍率可达337倍，并建议按工件表面特性配置同轴光与轮廓光源。该方案面向锯齿形微电极的线宽、线距及锯齿间隙检测，支撑来料、制程与出货环节的质量管控。目前进展为天准科技对外发布上述方案介绍。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。