天准VMU高端影像仪助力光通信微电极检测效率提升

天准VMU高端影像仪结合Vispec测量软件的自动合并测量点功能，可对同一视野内密集微细特征自动归并批量测量，将含上千个测量点工件的整体测量时间由小时级缩短至分钟级。设备推荐选用VMU高端系列影像仪，配自动变倍镜头与彩色工业摄像机，放大倍率可达337倍，并建议按工件表面特性配置同轴光与轮廓光源。该方案面向锯齿形微电极的线宽、线距及锯齿间隙检测，支撑来料、制程与出货环节的质量管控。