北京中电科碳化硅器件晶圆全自动减薄机量产交付

中国电科电子装备集团旗下北京中电科研发的国内首台套碳化硅器件晶圆全自动减薄机交付国内头部晶圆企业，实现量产落地。该设备采用三轴四工位整机架构，集成自动传输与清洗单元，实现干进干出全自动化加工，对8英寸碳化硅晶圆可稳定磨削至最低120微米，每小时产出不少于15片，磨削后晶圆内部厚度偏差控制在3微米以内。